晶体中的空位、自填隙、杂质都对杂质扩散有影响，其中空位对P、B等慢扩散杂质的影响最大。

[单选题]在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。A . 填隙扩散B . 杂质扩散C . 推挤扩散D . 自扩散

影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度B. 浓度梯度C. 扩散的杂质D. 衬底的材料

【多选题】影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度B. 浓度梯度C. 扩散的杂质D. 衬底的材料

[填空题] 杂质在硅晶体中的扩散机制主要有两种，分别是（）扩散和（）扩散。杂质只有在成为硅晶格结构的一部分，即（），才有助于形成半导体硅。

[问答题] 例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

[问答题,论述题] 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

[填空题] 热扩散利用（）驱动杂质穿过硅的晶体结构，这种方法受到（）和（）的影响。

[单选题]在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。A . 推挤扩散B . 杂质扩散C . 填隙扩散D . 自扩散

扩散,可以分为三个步骤:预淀积、再扩散(杂质推进)、杂质激活。A. 正确B. 错误

[多选题] 下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。A . 硼B . 锡C . 锑D . 磷E . 砷