[问答题] 有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法?
[填空题] 热分解化学气相淀积二氧化硅是利用()化合物,经过热分解反应,在基片表面淀积二氧化硅。
[名词解释] 物理气相淀积(pvd)
下列选项中,属于物理气相淀积方法的有()A. 水汽氧化法B. 蒸发法C. 溅射法D. 电镀法
[问答题,论述题] 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关?淀积速率的测量采用什么办法?
[问答题] 淀积层(illuvialhorizon)
【单选题】金属薄膜淀积之后,用于淀积介质的CVD方法是:A. APCVDB. LPCVDC. PECVDD. ALD原子层淀积