淀积层（illuvialhorizon）

[名词解释] 预淀积

[问答题,论述题] 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

[名词解释] 淀积粘化

[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。A . 正确B . 错误

[名词解释] 化学气相淀积

【单选题】金属薄膜淀积之后,用于淀积介质的CVD方法是:A. APCVDB. LPCVDC. PECVDD. ALD原子层淀积

[名词解释] 物理气相淀积（pvd）

[多选题] 在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。A . 均匀性B . 表面平整度C . 自由应力D . 纯净度E . 电容

[填空题] 二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。