[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。A . 正确B . 错误
[单选题]导爆管内壁涂有薄薄的一层()。A.单质猛炸药B.混合炸药C.混合炸药与铝粉
[填空题] 二氧化硅的制备方法很多,其中最常用的是高温()、()淀积、PECVD淀积。
碳化硅和氮化镓作为衬底材料常用于功率器件。A. 正确B. 错误
[多选题] 在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在()。A . 晶圆顶层的保护层B . 多层金属的介质层C . 多晶硅与金属之间的绝缘层D . 掺杂阻挡层E . 晶圆片上器件之间的隔离
[问答题] 简述非晶氢化氮化硅(α-SiNx:H)薄膜的优点及其制备工艺。
[问答题] 叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。A . 正确B . 错误
氮化硅常常采用的干法刻蚀气体为:A. HFB. NF3C. HClD. Cl2
氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为A. 磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸