离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[填空题] 离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（）和（）。

[名词解释] 离子注入

[多选题] 对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。A . 入射离子的能量B . 入射离子的质量C . 入射离子的原子序数D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度E . 注入离子的总剂量

离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高，并且杂质浓度更容易控制。A. 正确B. 错误

[问答题] 离子注入表面改性

[问答题] 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？

[名词解释] 离子注入的沟道效应

离子注入的描述,正确的是?A. 入射离子的位移阈能大于Ed,发生级联碰撞B. 离子注入后退火的目的是消除晶格损伤，并使注入杂质实现电激活C. 一级近似下，无定形

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？