离子注入的描述,正确的是?

A. 入射离子的位移阈能大于Ed,发生级联碰撞

B. 离子注入后退火的目的是消除晶格损伤，并使注入杂质实现电激活

C. 一级近似下，无定形靶内的纵向分布可用高斯函数表示

D. 能量一定的情况下,轻离子比重离子射程深

参考答案与解析：

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