离子注入工艺的主要目的是（）

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

下列哪项不是离子注入工艺的优点？A. 精确控制掺杂浓度B. 掺杂深度可控C. 高温处理D. 高精度掺杂分布

[名词解释] 离子注入

[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。

[问答题] 离子注入表面改性

烧结工艺的主要目的是：A. 提高矿石的含铁量B. 将矿粉、燃料、熔剂混合后烧结成块状C. 去除矿石中的杂质D. 降低矿石的粒度

离子注入掺杂后需要进行退火处理，其目的是:A. 增加掺杂剂量B. 修复晶格损伤C. 增强掺杂物的反应活性D. 降低注入深度

[单选题]设置工艺联锁的主要目的是（）。A .在事故状态下保护设备避免事故的进一步扩大B .在事故状态下确保产品质量合格C .缩短事故处理时间D .在事故状态下，避免物料泄漏