[问答题] 与普通溅射法相比，磁控溅射的特点是什么？
[问答题,论述题] 什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。
[多选题] 溅射的方法非常多其中包括（）。A .直流溅射B .交流溅射C .反应溅射D . D.二级溅射E .三级溅射
[多选题] 从电极的结构看，溅射的方法包括（）。A .直流溅射B .交流溅射C .二级溅射D . D.三级溅射E .四级溅射
[判断题] 溅射是个化学过程，而非物理过程。A . 正确B . 错误
[多选题] 一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。A . 产生一个离子并导向靶B . 被轰击的原子向硅晶片运动C . 离子把靶上的原子轰出来D . 经过加速电场加速E . 原子在硅晶片表面凝结
[单选题]（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。A . 溅射率B . 溅射系数C . 溅射效率D . 溅射比
[多选题] 机械密封工作时气震（飞溅和溅射）的原因是（）。A . 密封面介质汽化B . 密封面介质闪蒸C . 密封腔压力高D . 密封腔温度低
[问答题,论述题] 常用溅射技术有哪几种，简述它们的工作原理和特点。