常见的溅射方法有:-|||-A 直流溅射-|||-B 磁控溅射-|||-刻蚀溅射-|||-D 射频溅射

[问答题] 与普通溅射法相比，磁控溅射的特点是什么？

[名词解释] 溅射

[名词解释] 溅射镀膜

溅射刻蚀,又称离子铣,反应的过程为:A. 物理作用B. 化学作用C. 既有物理作用,又有化学作用--D. 无作用

[多选题] 溅射的方法非常多其中包括（）。A .直流溅射B .交流溅射C .反应溅射D . D.二级溅射E .三级溅射

[问答题,论述题] 什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。

磁控溅射可以提高氩气的离化率,因此提高淀积效率。A. 正确B. 错误

[多选题] 从电极的结构看，溅射的方法包括（）。A .直流溅射B .交流溅射C .二级溅射D . D.三级溅射E .四级溅射

溅射镀膜常用的工作气体是:A. 氧气(O₂)B. 氮气(N₂)C. 氩气(Ar)D. 氢气(H₂)

下列属于反应溅射优点的是()A. 降低靶材的成本B. 沉积薄膜的成分易于调控C. 薄膜沉积速率快