A. 外延
B. 热氧化
C. PVD
D. CVD
制备完整单晶薄膜的沉积条件是______和______,其生长模式为______。外延生长(在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜)条件:______和______
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。A . 正确B . 错误
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。A . 正确B . 错误
[单选题]制备单晶硅薄膜方面的主要工艺方法是().A . 汽-固B . 液-固C . 固-固D . 汽-液
制备单晶的常用方法是?A. 垂直提拉法B. 离心急冷法C. 轧制急冷法D. 气相沉积法
[单选题]坩埚的污染(引入P型杂质)会使N型单晶尾部的电阻率,使P型单晶尾部电阻率。( )A.增高减小B.减小增高C.减小减小D.增高增高
[单选题]坩埚的污染(引入P型杂质)会使N型单晶尾部的电阻率,使P型单晶尾部电阻率。( )A.增高减小B.减小增高C.减小减小D.增高增高
目前制备硅单晶的方法有:A. 直拉法B. 液体掩盖直拉法C. 悬浮区熔法D. 精馏法
硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。
常见的制备单晶硅的方法有A. 直拉法B. 悬浮区熔法C. 蒸发D. 溅射