在制备完好的单晶衬底上,沿其原来晶向,生长一层厚度、导电类型、电阻率及晶格结构都符合要求的新单晶层,该薄膜制备方法是()。

A. 外延

B. 热氧化

C. PVD

D. CVD

参考答案与解析:

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制备完整单晶薄膜的沉积条件是______和______,其生长模式为______。外延生长(在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜)条件:______和______。

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