湿法刻蚀的选择性比较好，但是为各向异性刻蚀。

一般湿法刻蚀是各向同性，而干法刻蚀则是各向异性。A. 正确B. 错误

[判断题] 各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。A . 正确B . 错误

干法刻蚀选择性比湿法腐蚀好。A. 对B. 错

[问答题] 什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。

硅常用的湿法刻蚀溶液为:A. 热磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸

一般情况下,与湿法刻蚀相比,干法刻蚀具有较高的选择比。A. 正确B. 错误

以下刻蚀方法中,不属于各向同性的刻蚀是()。A. 湿法刻蚀B. 溅射刻蚀C. 等离子体刻蚀D. 反应离子刻蚀

两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是:A. 干法刻蚀B. 湿法刻蚀C. 离子刻蚀D. 溅射刻蚀

[名词解释] 晶各向异性（晶体磁各向异性）

氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为A. 磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸