硅常用的湿法刻蚀溶液为:

中国大学MOOC: SiO2的湿法刻蚀溶液中加入哪种物质，可以减缓刻蚀速率。中国大学MOOC: SiO2的湿法刻蚀溶液中加入哪种物质，可以减缓刻蚀速率。

氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为A. 磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸

[问答题] 哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。

湿法刻蚀的选择性比较好，但是为各向异性刻蚀。A. 正确B. 错误

[单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。A . 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B . 体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；C . 体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

关于湿法刻蚀描述正确的是:()□A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、

最常用的二氧化硅的湿法刻蚀腐蚀液包括()。A. 氢氟酸B. 氟化铵C. 去离子水D. 磷酸

[单选] 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）A. 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B. 体刻蚀加工不对基体材料进行加工

[问答题] 什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。

一般湿法刻蚀是各向同性，而干法刻蚀则是各向异性。A. 正确B. 错误