A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面
B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料
C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、漂洗、干燥.
D. 湿法列蚀的缺点是:各向异性差(钻烛严重),难于获得精细图形
硅常用的湿法刻蚀溶液为:A. 热磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸
[问答题] 什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为A. 磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸
一般湿法刻蚀是各向同性，而干法刻蚀则是各向异性。A. 正确B. 错误
9砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液是磷酸。A. 正确B. 错误
湿法刻蚀的选择性比较好，但是为各向异性刻蚀。A. 正确B. 错误
一般情况下,与湿法刻蚀相比,干法刻蚀具有较高的选择比。A. 正确B. 错误
干法刻蚀选择性比湿法腐蚀好。A. 对B. 错
中国大学MOOC: SiO2的湿法刻蚀溶液中加入哪种物质，可以减缓刻蚀速率。中国大学MOOC: SiO2的湿法刻蚀溶液中加入哪种物质，可以减缓刻蚀速率。
最常用的二氧化硅的湿法刻蚀腐蚀液包括()。A. 氢氟酸B. 氟化铵C. 去离子水D. 磷酸