离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 离子注入表面改性

离子注入的描述,正确的是?A. 入射离子的位移阈能大于Ed,发生级联碰撞B. 离子注入后退火的目的是消除晶格损伤，并使注入杂质实现电激活C. 一级近似下，无定形

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[问答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。

[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。

[判断题] 离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A . 正确B . 错误

[问答题] 离子注入后为什么要退火？