离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[名词解释] 离子注入

[问答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。

[多选题] 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 四氟化硅D . 三氟化磷E . 五氟化磷

[多选题] 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 三氟化硼D . 硅烷E . 氧气

[问答题] 离子注入表面改性

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[问答题] 离子注入后为什么要退火？