离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

[多选题] 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 三氟化硼D . 硅烷E . 氧气

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[名词解释] 离子注入

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

离子注入过程中,常用的退火方法有()。A. 高温退火B. 快速热退火C. 氧化退火D. 电阻丝退火

[问答题] 离子注入表面改性

离子注入工艺的主要目的是（）A. 形成金属连线B. 掺杂半导体C. 沉积薄膜D. 清洗晶圆

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[单选题]离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。A . 中子源B . 离子源C . 电子源D . 质子源