下图为一个典型的离子注入系统。（1）给出1~6数字标识部分的名称，简述其作用。（2）阐述部件2的工作原理。

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[填空题] 离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。

[问答题] 离子注入表面改性

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[判断题] 离子注入是一个物理过程，不发生化学反应。A . 正确B . 错误

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。A . 液氮冷阱B . 净化阱C . 抽气阱D . 无气泵