离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。

[判断题] 离子注入是一个物理过程，不发生化学反应。A . 正确B . 错误

[判断题] 电梯乘客可以强行进入正在检修的电梯（）A . 正确B . 错误

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。A . 液氮冷阱B . 净化阱C . 抽气阱D . 无气泵

[多选题] 对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。A . 入射离子的能量B . 入射离子的质量C . 入射离子的原子序数D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度E . 注入离子的总剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 离子注入表面改性

[单选题]离子注入使金属材料表层合金化，将会（）。A . 降低硬度B . 降低耐磨性C . 降低耐腐蚀性D . 提高耐腐蚀性

[问答题,论述题] 下图为一个典型的离子注入系统。（1）给出1~6数字标识部分的名称，简述其作用。（2）阐述部件2的工作原理。