离子注入后为什么要进行退火？

[问答题] 离子注入后为什么要退火？

离子注入掺杂后需要进行退火处理，其目的是:A. 增加掺杂剂量B. 修复晶格损伤C. 增强掺杂物的反应活性D. 降低注入深度

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

离子注入过程中,常用的退火方法有()。A. 高温退火B. 快速热退火C. 氧化退火D. 电阻丝退火

[名词解释] 离子注入

[问答题] 黄铜管棒拉伸后为什么要及时退火？

[问答题,论述题] 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

85.-|||-离子注入之后为修复晶格损伤和激活杂质,必须进行退》-|||-A 对-|||-B 错

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量