离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高，并且杂质浓度更容易控制。A. 正确B. 错误

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？

离子注入深度通过控制离子束____来控制,而掺杂浓度的控制可通过控制注入离子________来实现，是两个独立控制过程。 离子注入深度通过控制离子束____来

离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。A. 正确B. 错误

[填空题] 离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（）和（）。

[判断题] 离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A . 正确B . 错误

[问答题,论述题] 热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。

[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。